RIBE215/450 ISA200离子刻蚀设备

设备型号

R-IBE215

R-IBE450

ISA200

加工范围

215mm

450mm

200mm

工件厚度

20mm

50mm

50mm

工件重量

最大2Kg

最大50Kg

最大2Kg

接触角

0-90°

0-90°

0-180°

旋转速度

0-10RPM

加工面形

凸面,凹面,平面,球面,非球面,自由曲面

加载过渡舱

提供加工过渡舱装置,加载时间<2分钟

轴数

4轴(X,Y,A,B)

5轴(X,Y,Z,A,B)

3轴(X,A,B)

行程

X>500mm

Y=300mm

A+/-90°

B=360°

X=1100mm

Y=300mm

Z=300mm

A=0-90°

B=360°

X=300mm

A=0-120°

B=360°